開放式光柵尺是一種基于光學(xué)原理的高精度位移測(cè)量裝置，其工作原理巧妙運(yùn)用了莫爾條紋技術(shù)。通過標(biāo)尺光柵與指示光柵的相對(duì)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生明暗相間的干涉條紋，再經(jīng)光電轉(zhuǎn)換和電子細(xì)分處理，將微小位移轉(zhuǎn)化為可計(jì)數(shù)的數(shù)字信號(hào)。以下是具體分析：
標(biāo)尺光柵：固定在設(shè)備基座上的長尺，表面刻有精密等距的柵線（柵距通常為20~100μm）。
指示光柵：安裝在讀數(shù)頭內(nèi)的小型光柵，其柵距與標(biāo)尺光柵匹配，二者保持微小夾角或平行放置。
光源與光電探測(cè)器：紅外LED或激光二極管提供照明，光電元件陣列（如四組光電池）接收莫爾條紋的光強(qiáng)變化。
2.關(guān)鍵工作過程
莫爾條紋生成：當(dāng)兩光柵相對(duì)移動(dòng)時(shí)，因光的干涉效應(yīng)形成垂直于柵線的條紋。例如，柵距20μm的光柵可通過夾角設(shè)計(jì)使條紋寬度放大至毫米級(jí)，實(shí)現(xiàn)機(jī)械位移的光學(xué)放大。
信號(hào)轉(zhuǎn)換與細(xì)分：光電探測(cè)器將條紋移動(dòng)轉(zhuǎn)化為正弦/余弦電信號(hào)，通過相位差辨向（判斷移動(dòng)方向），并利用電子內(nèi)插技術(shù)將單個(gè)周期細(xì)分為數(shù)千份，分辨率可達(dá)納米級(jí)。
開放式光柵尺憑借非接觸測(cè)量、超高分辨率及靈活安裝特性，成為高*裝備制造的核心傳感組件。其應(yīng)用涵蓋以下場(chǎng)景：
1.數(shù)控機(jī)床：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)刀具與工件坐標(biāo)，補(bǔ)償運(yùn)動(dòng)誤差，提升加工精度。
2.三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)：作為三維尺寸測(cè)量的核心部件，支持復(fù)雜曲面掃描與逆向工程。
3.直線電機(jī)控制：提供高速位置反饋，確保動(dòng)態(tài)響應(yīng)與穩(wěn)定性。
4.自動(dòng)化產(chǎn)線：機(jī)器人導(dǎo)航、晶圓搬運(yùn)等場(chǎng)景中實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)定位。
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產(chǎn)品分類 / PRODUCT
更新時(shí)間：2025-11-06 
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